基板両面端面クリーナー
基板の両面及び搬送端面に付着したクズ・ゴミをブラシによりクリーニングします
特徴
仕様
左右にスクロールできます。
型式 | NCWS-250 | >NCWS-460 |
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外形寸法 | W 411×D 860×H 1300mm | W 411×D 1070×H 1370mm |
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質量 | 120kg | 160kg |
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適用基板サイズ | W 411×D 860×H 1300mm | L 80×W 50 ~ L 510×W 460㎜ |
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搬送方式 | 平ベルト(帯電防止処理ベルト)で基板を搬送します。 |
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搬送速度 | 1 ~ 10m/min タッチパネルにより速度可変が設定できます。 |
クリーニング機構 |
ブラシの回転により、基板のゴミを取り除き集塵機にて集塵します。 |
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エアブロー機構 |
スリットノズル式 |
ブラシ材質 |
アクリル素材にカーボンを練りこんだ導電性繊維を使用しております。 |
静電気除去装置 |
基板搬出側にイオナイザーが上面/下面に設置されています。 |
クリーニング範囲 |
対象基板の上面 / 下面 / 搬送端面をクリーニングします。 |
適用基板幅調整 |
クランクハンドル(脱着式)による手動幅調整 |
使用電源 | AC100V±10% 3Pアース付電源コード付 |
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消費電力 |
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操作部 |
タッチパネルにより操作します。 |
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警報装置 |
3灯式シグナルタワー/ブザー付 (高さ:床面より1800mm) |
インターフェイス |
本装置が基板搬入可能な時、前工程装置へ基板要求出力をします。 |
オプション | ●コンベア幅 自動調整 ●集塵機 排気ヘパフィルター |
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構造
外形図
クリーナー機構図