両面基板クリーニング装置
基板に付着したクズ・ゴミを両面のブラシによりクリーニングします
特徴
仕様
左右にスクロールできます。
型式 | NCW-250 | >NCW-460 |
---|
外形寸法 | W 300×D 860×H 1300mm | W 300×D 1070×H 1370mm |
---|
質量 | 110kg | 150kg |
---|
適用基板サイズ | L 80mm × W 50mm ~ L 330 × W 250 |
---|
搬送方式 | 平ベルト方式(帯電防止処理ベルト)により基板を搬送します。 |
---|---|
搬送速度 | 1 ~ 10m/min タッチパネルにより速度可変が設定できます。 |
クリーニング範囲 |
対象基板の上面 / 下面をクリーニングします。 |
---|---|
クリーニング機構 |
ブラシの回転により、基板のゴミを取り除き集塵機により集塵します。 |
エアブロー機構 |
スリットノズル式 |
ブラシ材質 |
アクリル繊維に硫化銅を化学結合させた有機導電性繊維を使用しております。 |
静電気除去装置 |
基板搬出側にイオナイザーが上面/下面に設置されています。 |
適用基板幅調整 |
クランクハンドル(脱着式)による手動幅調整 |
操作部 |
タッチパネルにより操作します。 |
警報装置 |
3灯式シグナルタワー/ブザー付 (高さ:床面より1800mm) |
インターフェイス |
本装置が基板搬入可能な時、前工程装置へ基板要求出力をします。 |
使用空気圧 |
0.5±0.1MPa |
クリーニング範囲 |
対象基板の上面 / 下面をクリーニングします。 |
---|---|
クリーニング機構 |
ブラシの回転により、基板のゴミを取り除き集塵機により集塵します。 |
エアブロー機構 |
スリットノズル式 |
ブラシ材質 |
アクリル繊維に硫化銅を化学結合させた有機導電性繊維を使用しております。 |
静電気除去装置 |
基板搬出側にイオナイザーが上面/下面に設置されています。 |
適用基板幅調整 |
クランクハンドル(脱着式)による手動幅調整 |
操作部 |
タッチパネルにより操作します。 |
警報装置 |
3灯式シグナルタワー/ブザー付 (高さ:床面より1800mm) |
インターフェイス |
本装置が基板搬入可能な時、前工程装置へ基板要求出力をします。 |
使用空気圧 |
0.5±0.1MPa |
使用電源 | AC100V±10% 3Pアース付電源コード5m付 |
---|
消費電力 | 最大:0.4kVA | 最大:0.6kVA |
---|
制御 | プログラマブルコントローラによる |
---|---|
付属品 | ●小型集塵機 ●集塵用ホース |
オプション | ●コンベア幅 自動調整 ●集塵機 排気ヘパフィルター |
構造
外形図
クリーナ機構図